中科院官宣“破冰”, ASML恢复光刻机供应, 中芯国际要被气笑了

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发布时间:2023-04-26 01:16

最近几年,由于我国在芯片领域的快速发展,让老美逐渐感到其本国企业的优势空间在变窄,所以便开始了对我国芯片企业的疯狂打压,其中在芯片制造领域的打压尤其明显。


例如在2019年,美国要求ASML禁止向中芯国际出售EUV光刻机,随后又要求ASML将禁售光刻机的范围增加到DUV光刻机,同时要求日本尼康跟进,而在其他芯片制造设备上,也施加了很多限制。

可以说,老美为了阻碍我们在芯片制造上的发展,进行了全方位的围堵,当然,最关键的设备其实还是光刻机,因为光刻机不仅决定着一颗芯片的工艺,还是所有芯片制造设备中难度最高、复杂度最高的设备,没有之一。


不过ASML方面后来恢复了部分DUV光刻机的供应,其表示受到影响的光刻机型号,应该是1980Di之后的机型,即2000i和2050i两款机型,这两款机型可以用于制造7纳米和5纳米工艺芯片。

而1980Di机型主要被用于14纳米及以上工艺,ASML做出该判断的依据,主要是美国企业断供的其他芯片设备,都是基于14纳米以下,因此光刻机也应该是基于此工艺标准。


不得不说,中芯国际都要被气笑了,因为这无疑让所有人都看到,老美是自己撕下了遮羞布,什么国家安全都是胡扯,老美一方面想要遏制我们在芯片制造上的发展,又想赚我们市场的钱。

14纳米的芯片设备,有很多我们都实现了国产化,所以对于老美来说,限制14纳米反而对其本国企业不利,进而再限制14纳米的光刻机也就意义不大,华为近日搞定了芯片设计EDA工具,也是锚定在了14纳米,这已经很能说明问题。


实际上,在光刻机上,我们也没有把DUV光刻机当作最大障碍,主要突破点还是EUV光刻机。

2020年,中科院院长白春礼就表示,要解决一批卡脖子的关键领域,其中光刻机赫然在列,而当时被卡脖子的光刻机,就是EUV光刻机。

DUV光刻机上,根据之前的媒体报道,28纳米已经突破在即,而28纳米光刻机通过双重曝光就可以生产14纳米芯片,这也是为何,后来ASML迅速改口,不再强调“公开图纸我们也造不出光刻机”,而是高调表示“我们可以制造出任何他们所需要的任何产品”。

现在3年过去,中科院就传来“破冰”消息,中科院长春光机所近日在官网发文表示,中科院院长白春礼来到了长春光机所调研,其中展示的创新成果,就包括EUV光源。


上图为白春礼院长在参观EUV光源样机,EUV光刻机与DUV光刻机的最大区别,就是光源,DUV光源的波长是193纳米,而EUV光源的波长是13.5纳米,波长越短,才能制造越先进的芯片。

因此突破EUV光刻机的关键,其实就是突破EUV光源,而现在,中科院长春光机所已经研制出EUV光源样机,并且向院长白春礼进行了展示,那么这意味着,国产EUV光刻机的原型机已经可以展望一下了。

之前ASML总裁温宁克表示,限制只会加速我们自研,美国终将搬起石头砸自己的脚,而近日美国智库也表示,美国的战略正在让全球去美化,我们将会在供应链中发挥作用。还是那句话,对我们越是限制,我们越是能够突破,为伟大的祖国和科学家们点赞。

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