牛市第二阶段，重点关注景气度向上的科技半导体方向，国产光刻机设备公司梳理如下：
整机
1、上海微电子
张江高科：通过全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子14.21%股权。
东方明珠：通过上海泰力产业投资管理有限公司间接持有约2%股权。
上海电气：母公司为上海微电子第一大股东。
2、长春光机所
奥普光电：中科院长光学所持股公司42.4%的股权，非常有希望在国产高端光刻机上实现突破。其研制的国内第一套EUV光刻原理装置，实现了EUV光刻的原理性贯通。
物镜系统
赛微电子：公司提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。
光源
福晶科技：通过欧洲代理向ASML销售少量光学元件。
茂莱光学：公司为光刻机光学系统提供光学器件。
光学元件
苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品。
腾景科技：公司合分束器项目应用于光刻机光学系统。
炬光科技：公司为半导体光刻应用领域提供光场匀化器。
晶方科技：公司下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商。
京华激光：控股美国公司在光刻机微结构光学方面实力较强。
光学镜头
奥普光电：长春光机所旗下企业。
波长光电：公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。
麦克迪奥：国望光学和科益虹源（国内第一，世界第三，供货上海微电子）都是亦庄旗下公司。截止目前亦庄唯一控股的上市公司是麦克奥迪。麦克奥迪主业光学镜头实锤供货光刻机。
结构零部件
富创精密：公司结构零部件多种产品应用于光刻机、涂胶显影设备。
新莱应材：公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。
电科数字：为半导体装备生产商提供光刻机的控制器。
锐新科技：公司的电子散热系统为间接供货应用于光刻机。
海立股份：为微电子装备集团系统级供应合作商。
金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理，子公司是上微子供应商。
电科数字：子公司可供货光刻机控制器。
清洗设备
蓝英装备：公司精密清洗设备客户包括光刻机制造企业的合资(参股)公司。
国林科技：产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。
美埃科技：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单。
维修服务
东方嘉盛：公司提供光刻机寄售维修服务。
光掩膜版
路维光电：公司储备了150nm节点半导体掩膜版制造核心技术
清溢光电：合肥工厂新增光刻机等设备已投入生产。
国内光刻胶材料公司梳理
雅克科技：2020年2月26日，雅克科技公告称，子公司斯洋国际有限公司与LGCHEM,LTD.（LG化学）签署《业务转让协议》，以580亿韩元（折合人民币约3.35亿元）购买其下属的彩色光刻胶事业部的部分经营性资产，标的资产主要包括与彩色光刻胶业务相关的部分生产机器设备、存货、知识产权类无形资产、经营性应收账款等。
上海新阳：公司为拓展业务范围及产品应用领域，投资设立控股子公司上海芯刻微材料技术有限责任公司进行193nm（ArF）干法光刻胶研发及产业化项目。
晶瑞股份：公司是一家专业从事微电子化学品的产品研发、生产和销售的高新技术企业，主导产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料、锂电池材料和基础化工材料等。
容大感光：公司的光刻胶产品主要包括紫外线正胶、紫外线负胶两大类产品以及稀释剂、显影液、剥离液等配套化学品，主要应用于平板显示、发光二极管及集成电路等领域。
南大光电：公司正在自主创新和产业化的193nm光刻胶项目，已获得国家02专项“193nm光刻胶及配套材料关键技术研究项目”和“ArF光刻胶开发和产业化项目”的正式立项，先后共获得中央财政补贴15,101.65万元，地方配套5,000万元。目前“193nm光刻胶及配套材料关键技术研究项目”的研发工作已经完成，正在等待验收。
强力新材：公司主营业务产品仍以光刻胶专用化学品为主，分为光刻胶用光引发剂（包括光增感剂、光致产酸剂等）和光刻胶树脂两大系列。
同益股份：2020年4月11日公司在互动平台称：作为中高端化工及电子材料一体化解决方案提供商，公司先后从韩国引进丙烯酸树脂、KISCO光引发剂、DKC光敏剂以及色浆等产品，主要应用于LCD-TFT正性光刻胶、芯片及半导体行业i/g/h线光刻胶等中高端市场。
普利特：公司控股子公司上海普利特持有理硕科技25%股权。理硕科技位于江苏省苏州市苏州工业园区苏州纳米城，是一家从事平板显示器和半导体芯片用光刻胶及光刻工艺材料研发和生产的高科技企业。企业立足国内，致力于先端光刻工艺技术研究开发，为中国的平板显示器和半导体芯片生产厂家定制开发各种高端电子级化学品。
江化微：公司主营业务为超净高纯试剂、光刻胶配套试剂等湿电子化学品的研发、生产和销售。
飞凯材料：公司的光刻胶产品主要目标应用于TFT-LCD行业，产品性能满足行业应用需求。
万润股份：公司积极布局电子化学品领域的聚酰亚胺材料、光刻胶单体材料，进一步丰富公司信息材料产业产品线，为未来发展积蓄动能。公司已有聚酰亚胺材料和光刻胶单体材料相关产品实现销售，相关业务尚处于拓展初期，截止目前对公司业绩不构成重大影响。
广信材料：公司在互动平台回复称公司光刻胶项目研发正在进行中，已经有部分研发成果。
怡达股份：公司将开发成膜助剂用以替代光刻胶中的致癌性物质苯乙烯，以减小硬度、脆性及褪膜颗粒，提高光刻胶分辨率。
扬帆新材：公司内蒙古基地募投项目主要的光引发剂品种包括TPO、184、1173、BDK等。公司部分光引发剂产品下游可应用于光刻胶等相关领域。
宝通科技：2019年3月13日公司互动平台披露博砚电子为宝通辰韬投资，该公司是一家研发、生产光阻的厂家，主要产品为彩色滤光片用光阻黑色矩阵光阻、感光间隙材料，产品广泛适用于液晶显示屏、印刷电路和集成电路以及印刷制版等。该公司持续技术创新战略，凭借自身雄厚的科研实力，突破本土制造的长期技术瓶颈，已经成功开发出系列光刻胶产品。
永太科技：永太新材料年产1500吨CF光刻胶项目已进入了项目验收阶段。公司年产60吨OLED电子材料建设项目正在稳步推进中，继续加大在平板显示领域的布局。
光华科技：2019年9月25日公司在互动平台称子公司有正常生产销售光刻胶。
