光刻机被人们称为“用光雕刻的机器”，是芯片制造的核心设备之一。众所周知芯片是信息时代的基础，从通讯设备到显示设备，从生物医学到航空航天，芯片的影响无所不在，无所不能。由此可见，作为制造芯片的光刻机在这个信息时代，具有无可比拟和无可撼动的地位。
