集微网消息，日本设备制造商佳能估计，由于对生成式人工智能（AI）应用的需求不断增长，其半导体光刻设备（主要是KrF和i-line光刻机）的销量将从2022年的176台增加到2023年的195台。
据台媒电子时报报道，佳能第二季度的财报显示，来自电力元件和传感器领域的设备需求持续增长，生成式人工智能应用的快速发展也使得对用于先进芯片封装工艺中的光刻机的订单激增，从而使得公司的半导体光刻设备年度总销售额在2023年上升。
据悉，佳能的后端工艺i-line步进光刻机机适用于生产支持生成式人工智能应用的GPU，2023年订单和出货量都在增加，增长势头预计将在2024年进一步加强。
在KrF光刻机方面，机构统计数据显示，2022年KrF光刻机的全球销量为209台，佳能贡献51台，低于ASML的相应数量，但明显高于尼康。
去年10月，佳能宣布将在日本东部栃木县新建一座半导体设备厂，目标将当前产能提高一倍，总投资额超过500亿日元（约3.45亿美元），计划2025年春季开始运营。该公司计划提高光刻机产量，还将考虑生产能够以低成本制造尖端精细电路的下一代系统。
（校对/刘昕炜）
